導熱油爐點火后就要開始升溫脫水，在95-130℃范圍內主要是驅趕系統內殘存水份和導熱油內所含微量水的階段，此時需要格外小心謹慎，應視現場情況決定升溫速度。脫水過程視裝置的大小可能需要數小時或是幾天，但不要輕易嘗試加快這個過程，否則會很危險。當溫度升到130-200℃時也不能掉以輕心、放心大膽升溫，此時系統中可能仍有殘余水存在。
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